昔は火打ち石に使われていたけい石。そこに含まれているケイ素から作られるのが金属ケイ素。金属ケイ素から、99.999999999％という高純度のケイ素の塊、多結晶シリコンが作られます。
この多結晶シリコンを原料に、結晶成長技術を駆使して一定の原子配列を持った大きなシリコンの結晶（単結晶）を作り、この単結晶の塊（インゴット）を、薄くスライスして作られるのが「シリコンウエハ」です。
シリコン（Si）と炭素（C）で構成される化合物半導体です。シリコンに対して絶縁破壊電界強度が10倍、バンドギャップが3倍と優れており、P型・n型の制御が広い範囲で可能であるためパワーデバイス用材料として注目されているSiCは、セラミックスの一種で非常に優れた機械的特性、科学的安定性、耐熱性などの特徴からシリコンに代わるパワー半導体材料として需要が高まっています。
| サイズ | 6インチ （150±0.2mm） |
8インチ （200±0.2mm） |
12インチ （300±0.2mm） |
|---|---|---|---|
| タイプ | P or N | ||
| 厚み（標準） | 625±15μm(JEITA) 675±20μm(SEMI) |
725±25μm | 775±25μm |
| 抵抗値 | 1Ω・cm以上 | ||
| オリフラ | 〇 | ノッチ | ノッチ |
| 面状態 | 片面ミラー | 両面ミラー | |
| 梱包携帯 | コインロール（重ね合わせ） | ||
パーティクル管理されていない安価なシリコンウエハです。主に半導体製造装置の搬送テストやメカニカル評価、大寝具などの加工評価用にご利用いただいております。1枚からでのご提供が可能です。
| サイズ | 6インチ （150±0.2mm） |
8インチ （200±0.2mm） |
12インチ （300±0.2mm） |
|---|---|---|---|
| タイプ | P or N | ||
| 厚み（標準） | 625±25μm(JEITA) | 725±25μm | 775±25μm |
| 抵抗値 | 1Ω・cm以上 | ||
| 面状態 | 片面ミラー | 両面ミラー | |
| 膜種 | 各種 | ||
| 梱包携帯 | コインロール（重ね合わせ） | ||
通常のウエハ上に成膜加工されたウエハです。ウエハ成膜には、層間の絶縁材料としての絶縁膜、導電材料としての金属膜、その他のレジストなどのプロセス材料や保護膜などがあります。プラズマCVDやスパッタリング（PVD）などでは、一枚ずつの加工（枚葉加工）のためウエハ片面への成膜となります。
| トップ＆テール ボディスクラップ インゴット 電極リング | 単結晶 多結晶 |
| ポットスクラップ ポリシリコン インゴット ボディスライス | 単結晶 多結晶 |
| ブロークンウエハ（膜無し、膜付き、パターン、MIX） ソーラーウエハ ソーラーセル | 単結晶 多結晶 |
表記のない商品につきましても取り扱い可能です。お気軽にお問合せご相談ください。
その他、厚みの薄い、厚いウエハ、低抵抗品など
お客様のご利用シーンやレシピに合わせたウエハをご提供いたします。
| グレード | プライム | プロダクション | ダミー |
|---|---|---|---|
| タイプ | 4H-Nタイプ | ||
| 厚さ | 350±25μm | ||
| オフ角度 | 4°±0.5° | ||
| マイクロパイプ数 | ≦ 0.5cm-2 | ≦ 2cm-2 | ≦ 15cm-2 |
| 表面加工仕上げ | Si面：CMP仕上げ C面：光学鏡面仕上げ（ミラー） |
||
| グレード | プライム | プロダクション | ダミー |
|---|---|---|---|
| タイプ | 4H-Nタイプ | ||
| 厚さ | 350±25μm | ||
| オフ角度 | 4°±0.5° | ||
| マイクロパイプ数 | ≦ 0.5cm-2 | ≦ 2cm-2 | ≦ 15cm-2 |
| 表面加工仕上げ | Si面：CMP仕上げ C面：光学鏡面仕上げ（ミラー） |
||
| グレード | プライム | プロダクション | ダミー |
|---|---|---|---|
| タイプ | 4H-半絶縁性 | ||
| 厚さ | 500±25μm | ||
| オフ角度 | 0°±0.5° | ||
| マイクロパイプ数 | ≦ 1cm-2 | ≦ 5cm-2 | ≦ 15cm-2 |
| 表面加工仕上げ | Si面：CMP仕上げ C面：光学鏡面仕上げ（ミラー） |
||
可能です。ただし送料をご負担いただく場合もございます。
国内の場合、通常はいただいておりませんが、ご購入数量、サンプル時や製品によってはご負担いただく場合がございます。
在庫製品の場合は、ご注文いただいた翌日にお届けさせて頂くことも可能です。ご注文いただいた時間や地域によってはお時間を要する場合もございますのでご了承ください。
研究・開発などでご予算が限られている場合は、可能な限りご協力をさせていただいております。
国内製造品を扱っておりますが、メーカーの指定はお受けできませんのでご了承ください。
